Tango Systems, Inc. mit Sitz im Herzen von Silicon Valley ist ein führender Innovator für leistungsstarke, kostengünstige PVD-Systeme. Die Axcela ™ 450-Plattform ist die erste einer neuen Reihe von Cluster-Tools, die auf den äußerst erfolgreichen Axcela ™ 200/300-Plattformen basieren, die derzeit weltweit in der Massenproduktion eingesetzt werden.

In den letzten zehn Jahren hat die flexible Axcela ™ 200/300-Serie von Tango Werkzeuge für die Herstellung in den Märkten Advanced Packaging, Hard Disk Drive (sowohl magnetische als auch nicht magnetische Filme), ultradünne Filme, Interposer und TSV geliefert niedrigste Betriebskosten. Die einzigartige Small-Batch-Cluster-Architektur in Verbindung mit der patentgeschützten D-Source-Magnetron-Technologie und der einzigartigen ICP-Clean-Konfiguration machten die Werkzeuge der Axcela ™ 200/300-Serie zu den flexibelsten, zuverlässigsten und kostengünstigsten Systemen ihrer Klasse Leichtes Abscheiden von 10 Angström bis 10 Mikron.

 

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