MicroSense, LLC

MicroSense, LLC, früher bekannt als ADE Technologies, besteht aus drei Hauptgeschäftsbereichen: kapazitiven Präzisionssensoren, vibrierenden Probenmagnetometern und MOKE-Werkzeugen (Magneto-Optical Kerr Effect) für hochmoderne magnetische Mess- und Wafer-Messsysteme. Bis zum Verkauf des Unternehmens im November 2009 waren wir eine Tochtergesellschaft der KLA-Tencor Corporation, einem weltweit führenden Anbieter von Werkzeugen zur Inspektion und Messung von Halbleiterwaferfehlern. MicroSense bedient eine Vielzahl von Branchen, darunter Halbleiterausrüstung, Datenspeicherung, Werkzeugmaschine, Solar, Automobil und LED mit hoher Helligkeit. MicroSense bietet Kundennutzen und Sicherheit durch umfassende Geschäftserfahrung, Finanzkraft, weltweiten Support und technische Führung.

Wegweisende hochauflösende Messung mit kapazitiven Sensoren

Unser Geschäft mit kapazitiven Sensoren wurde 1967 von Robert C. Abbegegründet und war ursprünglich Teil der ADE Corporation. Die ADE Corporation war bekannt für ihre visionären und neuartigen Ansätze zur berührungslosen hochauflösenden Messung für anspruchsvolle dimensionale Messanwendungen. Im Laufe der Zeit entwickelte sich ADE zum weltweit führenden Anbieter von Werkzeugen für die Messung von bloßen Halbleiterwafern. Hochauflösende kapazitive Sensoren zur Positions- und Verschiebungsmessung (auch als „Cap Gages“ bezeichnet) wurden zum Synonym für „ADE“ und unseren Markennamen „MicroSense“.

MicroSense bietet kapazitive Sensoren und OEM-Messmodule, die auf der patentierten kapazitiven Sensortechnologie basieren, um sehr präzise Messungen mit hoher Bandbreite von Präzisionsprodukten wie Solarwafern, Saphirwafern, Festplattenmotoren, luftgelagerten Spindeln, Präzisions-XY-Tischen und optischen Scheiben durchzuführen , Autoteile und Werkzeugmaschinen. Unsere kapazitiven Wegsensoren bieten die branchenweit höchste Auflösung, weniger als 0,05 Nanometer, außergewöhnliche Stabilität und praktisch unbegrenzte Lebensdauer.

Innovative Werkzeuge zur Messung der Waferdimensionen

MicroSense bietet hochempfindliche Wafer-Messwerkzeuge zur Charakterisierung von Saphir, Siliziumkarbid und verschiedenen Arten von Halbleiterwafern. MicroSense hat SigmaTech, Inc. aus Tempe, Arizona, im Juni 2012 übernommen. Mit dieser Akquisition erweiterte MicroSense sein Portfolio an innovativen Messlösungen um modernste Wafer-Inspektionswerkzeuge. SigmaTech-Systeme integrieren mehrere Sensortechnologien wie optische Spektrometrie, Interferometrie und die patentierte APBP-Technologie (Auto Positioning Back Pressure) von SigmaTech.

 

Hier können Sie alle MicroSense Produkte anschauen


http://www.microsense.net/products-wafer-metrology.htm