Vollautomatische Wafer Tape Mounter

EXM-1200X 300mm Vollautomatische Wafer Tape Mounter

• Ein Wafertape Mounter für Wafer von 300mm. (optional erhältlich: 8inches)
• Alle Parameter, die für das Anbringen eines Wafers an einem Rahmen wichtig sind, können im Rezept gesteuert werden.
• Kann mit ultradünnen Wafern verwendet werden. (wie geformte oder überarbeitete Wafer)
• h-iline UV-Bestrahlung und BG-Enttaping-Funktionen verfügbar. (Optionen)
• Langlebigere UV-Lampe durch US-eigene UV-Technologie realisiert
• Weitere optionale Funktionen sind verfügbar.
• Stromversorgung AC200 – 240V
• Einphasige Leistungsaufnahme
• 2KVA[Without UV] 3KVA[With UV]
• Reinluftdruck (CDA) 0,5 – 0,6 MPa (Mindestdurchflussrate: 120NL / min)
• Vakuum 650 – 750 mmHg (minimale Durchflussrate: 60 nl / min)
• Stickstoff(Für UV) 0.2-0.4 Mpa ( Min Durchfluss:20NL/min )
• Abgasleistung 1,0m3/min
• lOmmH20 (100mm Durchmesser SUS Flanschkanalanschluss)
• Systemanordnungsabmessung (BxDxHmm) 1900 x 2500 x 1900
• Nettogewicht Cax 1800Kg

ATM-800X 200mm Vollautomatischer Wafer Mounter

• Ein Wafer-Mounter für Wafer bis 200mm (8inches). (4-, 5-, 6- und 8-Zoll)
• Alle für die Befestigung wichtigen Parameter können im Rezept gesteuert werden.
• Kann mit dünneren/bumpigen Wafern verwendet werden.
• Weitere optionale Funktionen sind verfügbar.
• Leistung AC200 – 240V, einphasig
• Stromverbrauch 2KVA
• Reinluftdruck (CDA) 0,5 – 0,6 MPa (Mindestdurchflussrate: 120NL / min)
• Vakuum 650 – 750 mmHg (minimale Durchflussrate: 60 nl / min)
• Systemanordnungsabmessung (BxDxHmm) 1830 x 1050 x 1800
• Nettogewicht Cax 1000Kg

Das halbautomatische Modell ist ebenfalls erhältlich. (Bitte kontaktieren Sie uns für details.)