Vollautomatische Wafer Tape Mounter

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By TEIKOKU

Product Type:

Equipment


Application:

Taping Detaping Mounting Curing


EXM-1200X 300mm Vollautomatische Wafer Tape Mounter

  • Ein Wafertape Mounter für Wafer von 300mm. (optional erhältlich: 8inches)
  • Alle Parameter, die für das Anbringen eines Wafers an einem Rahmen wichtig sind, können im Rezept gesteuert werden.
  • Kann mit ultradünnen Wafern verwendet werden. (wie geformte oder überarbeitete Wafer)
  • h-iline UV-Bestrahlung und BG-Enttaping-Funktionen verfügbar. (Optionen)
  • Langlebigere UV-Lampe durch US-eigene UV-Technologie realisiert
  • Weitere optionale Funktionen sind verfügbar.
  • Stromversorgung AC200 – 240V
  • Einphasige Leistungsaufnahme
  • 2KVA[Without UV] 3KVA[With UV]
  • Reinluftdruck (CDA) 0,5 – 0,6 MPa (Mindestdurchflussrate: 120NL / min)
  • Vakuum 650 – 750 mmHg (minimale Durchflussrate: 60 nl / min)
  • Stickstoff(Für UV) 0.2-0.4 Mpa ( Min Durchfluss:20NL/min )
  • Abgasleistung 1,0m3/min
  • lOmmH20 (100mm Durchmesser SUS Flanschkanalanschluss)
  • Systemanordnungsabmessung (BxDxHmm) 1900 x 2500 x 1900
  • Nettogewicht Cax 1800Kg

ATM-800X 200mm Vollautomatischer Wafer Mounter

  • Ein Wafer-Mounter für Wafer bis 200mm (8inches). (4-, 5-, 6- und 8-Zoll)
  • Alle für die Befestigung wichtigen Parameter können im Rezept gesteuert werden.
  • Kann mit dünneren/bumpigen Wafern verwendet werden.
  • Weitere optionale Funktionen sind verfügbar.
  • Leistung AC200 – 240V, einphasig
  • Stromverbrauch 2KVA
  • Reinluftdruck (CDA) 0,5 – 0,6 MPa (Mindestdurchflussrate: 120NL / min)
  • Vakuum 650 – 750 mmHg (minimale Durchflussrate: 60 nl / min)
  • Systemanordnungsabmessung (BxDxHmm) 1830 x 1050 x 1800
  • Nettogewicht Cax 1000Kg

Das halbautomatische Modell ist ebenfalls erhältlich. (Bitte kontaktieren Sie uns für details.)

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