Veritas-Serie (Großkammer SEM)

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By EMCrafts

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Product Type:

Metrology & Handling


Application:

Scanning Electron Microscope


Product Description:

  • Hohe Leistung und Produktivität
  • Große Bühnenbewegung (X / Y : 120mm)

VERITAS 3000 / 3100 (Motorisierte Bühne)

  • Übersicht
  • Spezifikation
  • Anwendungsbereiche
  • Cube-Serie
  • Genesis-Serie
  1. Einfache und intuitive Benutzeroberfläche für jedermann
  2. Weitbereichs-Probenbeobachtung & zerstörungsfreie Großprobenanalyse
  3. X 10 x X 300.000 Vergrößerung
  4. Automatische Funktionen zur Minimierung sich wiederholender
    –     Autofokus, AutoHelligkeit & Kontrast, Auto Gun Alignment, Auto Sättigung
  5. Hochauflösende Bildgebung
    –     Veritas-3000 : 3nm SE Bild (SE-Detektor)
    –     Veritas-3100 : 3nm SE Bild (SE-Detektor) /4nm (BSE-Bild)
  6. Die Probe kann innerhalb von 3 Minuten geladen werden
  7. Vakuum-Modus
    – Veritas-3000 : Nur Hochvakuum ( < 9 x 10-3Pa)
    –     Veritas-3100 : Variabler Druck (10 x 230Pa)
  8. Detektor
    –     Veritas-3000 : SE(ET-Typ)
    –     Veritas-3100 : SE(ET-Typ) / BSE(4Channel, Halbleiter)
  9. Unabhängige Produktentwicklung, Quick & Prompt AS
  10. Verschiedene Arten von Proben können mit optionalen Detektoren
    –     4-Kanal BSE EDS EBSD WDS CL
    Raman Spektroskopie LaB6 / Cebix Upgrade
    E-Beam Lithographie 3D Imaging Kammerkamera
  11. 5-Achsen Große motorisierte Stufe
    – Innenabmessungen : 230(B) x 210(T) x 260(H) mm
    – Maximale Probengröße : 210mm(H), 65mm(V)
    –     Maximales Probengewicht : 2kg
    –     Großer Bewegungsbereich : X,Y : 120mm Z : 5 x 65 mm T : -20° bei 90° R : 360°
  • Analysierbare Proben
  • Große Stichprobenanalyse
    • Die Veritas-Serie kann große Proben analysieren, die mit der Genesis-Serie nicht zu tun hatten. ex) Wafer, Scheibe
  •  Zerstörungsfreie Probenanalyse
    • In der Lage, Proben ohne schneiden zu analysieren.
    • Leiterplatten, Halbleitermusteranalyse
  • Schwere Probenanalyse
      • In der Lage, schwere Proben bis max. 2kg zu analysieren
      • Felsen, Eisenerz


Spezifikation der VERITAS-Serie
Modell Veritas-3000 Veritas-3100
Stufentyp 5-Achsen Motorisiert
– X,Y : 120mm (-60mm x 60mm) – Z : 5 x 65mm – T : -20° – 90° – R : 360°
Vakuum-Modus X O
Vakuum-Modus Hochvakuum-Modus ( < 9 x 10-3Pa) Hochvakuum-Modus ( < 9 x 10-3Pa)
Niedervakuum-Modus (10 x 230Pa)
Vakuumsystem Vollautomatisches Evakuierungssystem
– Turbo-Molekularpumpe (Vakuum bereit innerhalb von 3 Minuten)
– Drehschieberpumpe
– Elektrisches Ventilsystem
Electron Gun Vorzentriertes Wolfram-Filament
Detektor SE-Detektor SE-Detektor
BSE-Detektor (4kanalig, Halbleiter)
Auflösung 3.0nm (SE-Bild bei 30kV) 3.0nm (SE-Bild)
5.0nm (BSE-Bild)
vergrößern x10 bei x300.000
Beschleunigungsspannung 200V bei 30kV
Ziel IRIS 20 / 20 / 50 / 100 m (Variable Blende)
Image-Shift 100 m
Maximale Stichprobengröße Horizontal : 210mm Vertikal : 65mm
Erweiterter Scanmodus Dynamische Fokuspunkt- & Linienscan-Neigekompensation
Arbeitsstrecke 0 x 65 mm
Automatische Funktion Auto Brightness & ContrastAuto FocusAuto Gun AlignmentAuto Saturation
Auto FilamentBias
Bildformat JPGTIFFBMPPNG
Anzeigemodus Fokusmodus : 320 x 240 Pixel, verwertbar
Vorschaumodus : 800 x 600
Langsamer Modus : Gilt sowohl für den Vorschau- als auch für den Fokusmodus
Fotomodus : Bis zu 3200 x 2400
Dimension(mm) Installationsabmessung : 2000 (B) x 800 (D)
– Hauptsystem : 800 (B) x 825 (T) x 1500 (H), 200kg
– Drehpumpe : 454 (B) x 134 (T) x 212 (H), 22kg
Geliefertes Zubehör Factory-centered Filament Cartridge 1box(10units)Specimen Mounts 1box(10units), TweezerCarbon TapeHex. Driver 0.89mm (1 ea.)Hex. T Wrench 2.5mm (2 ea.)
Bedienungsgerät(PC) Windows 10-based All-in-One 21.5” Workstation100% controlled by keyboard and mouse
Optionale Geräte Kammerkamera LaB6/Ceb6 upgrade 3D Imaging Raman Spektroskopie
EDS(Energy Dispersive Spectroscopy) EBSD (Electron Back Scattered Diffraction)
WDS(Wavelength Dispersive Spectroscopy) CL(Cathodoluminescence) Bild
E-Beam Lithographie
Stromversorgung Einzelphase : 100 x 240VAC, 50 / 60Hz, 1kVA

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SEM has become an indispensable solution for natural resource companies to analyze, measure, extract and refine relevant features in rocks, minerals and man-made materials.
Our model of SEM is used in numerous applications, such as in the mining and geoscience industries.


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