Product Type:
Equipment
Application:
Integrated IPA Drying
Product Description:
MEIs VaporDry, der integrierte IPA-Trocknungsprozess ist eine Option für die Nassbänke von MEI.
VaporDry, die ideale Lösung für 3D-Compound-Halbleiter, trocknet zuverlässig die komplexesten Strukturen und Durchkontaktierungen (TSV). Der gesamte Prozess wird von der MEI-eigenen Software IDX Process Control überwacht und gesteuert.
Merkmale:
- 85% Reduzierung des IPA-Verbrauchs und geringere VOC in Abluft im Vergleich zu konventionellen Trocknern
- 200ml/Zyklus
- erhalten sie absolut trockene „High Aspect Ratio“ Strukturen und > 750um tiefe Durchkontaktierungen
- vollständig aus Edelstahl konstruiert
- ideal für BEOL-Anwendungen
- ideal für MEMS-Bauteile
- hohe Partikelentfernungsrate: < 20 bei 0,12μm
- schnellste Trocknungsmethode für Teflon-Kassetten
- für die Trocknung verschiedener Wafergrößen geeignet
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