Product Type:
Equipment
Application:
Wet Process
Product Description:
AXUS-Technology ist spezialisiert auf die Aufbereitung von CMP, Wafer Grinding & Wafer Cleaning Equipment sowie auf die Lieferung von Upgrades und Ersatzteilen.
Das Trusval Technology CO2 DI Water Delivery System wird für Nassreinigungsanwendungen eingesetzt und liefert hochreines DI-Wasser, das auch leitfähig ist, CO2-DIW offen, um ESD-Risiken bei Nassreinigungs- und Schleifanwendungen zu beseitigen, bei denen SOI und andere Geräte sonst anfällig für Beschädigungen sein könnten.
Viel effizienter als membranbasierte Technologie oder CO2-Sprudeln, kann ein einzelnes Trusval CO2-DIW-System bis zu 80 Liter leitungsfähiges CO2-geladenes Wasser pro Minute für den Einsatz in kritischen Nassprozessschritten liefern, bei denen die Stabilität der Wasserleitfähigkeit entscheidend ist. Bei bestimmten Prozessschritten hat sich das CO2-geladene Wasser als effektiver Ersatz für NMP erwiesen und gleichzeitig eine verbesserte Prozessleistung geliefert.
Das System stützt sich auf eine CO2-Konzentrationstechnologie, die bei der Nutzung von CO2- und DI-Wassereingaben 100 effizient ist und bei hohen Mengen außergewöhnlich konstantes Wasser liefert.
Ausstattungsvorteile:
- Aufrechterhaltung der CO2-DIW-Leitfähigkeit bei hohen Volumina
- Minimiert den CO2-Verbrauch – keine Blutung, Abscheidung und Wiederauflösung von Gas-Out erforderlich
- Hält eine stabile Leitfähigkeit bei Leerlauf des Systems
Utility Matrix
- Leitfähigkeit 33 +/- 2 uS/cm (einstellbar: 10-90 uS/cm oder 0.01-0.1 M-ohm/cm) Durchsatz
- Avg: 4-80 LPM (unter 33 uS/cm) DIW
- 2″, Druck: 60 Psig, Durchfluss: > 80 LPM
- 1″, Druck: 40-60 Psig, Durchfluss: > 30 LPM CO2
- 3/8″ x 1,
- Druck: 60 Psig, Durchfluss: > 30 LP
- CO2-Verbrauchsmaterialien
- 0,407 g/L (33 uS/cm CO2-DIW) N2
- 1/2″ x 1, Druck: > 80 Psig, Durchfluss: > 30 LPM CDA
- 3/8″ x 1, Druck: > 80 Psig, Durchfluss: > 30 LPM Abfluss 1″ x 1
- Leistung 220V, 3-Phasen, 4-Leiter, 60Hz, 15A
- Auspuff 4″ x 1
Ausstattungsabmessungen
- Metrisch (mm) 1118W x 1194D x 1854H
- Zoll 44W x 47D x 73H
file_downloadTrusval-CO2-DIW-DS-rev-01-06-16.pdf
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The Trusval CO2-DIW system delivers exceptionally consistent and stable CO2-saturated DI water at high volume. After initial setup and adjustment, the graph shows the delivery of process C02-DI water at 31.5 microsiemens of measured conductance with a range of 2 microsiemens at a flow rate of 50 liters per minute.