Strasbaugh 6EG CMP

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By AXUS

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Product Type:

Equipment


Application:

CMP


Product Description:

AXUS-Technology ist spezialisiert auf die Aufbereitung von CMP, Wafer Grinding & Wafer Cleaning Equipment sowie auf die Lieferung von Upgrades und Ersatzteilen.

Strasbaugh 6EG nHance – CMP Wafer Polisher
Seine halbautomatischen Operationen sind über eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) für eine wiederholbare und genaue Prozesssteuerung programmierbar.
Der 6-EG verwendet die gleichen Prozesssteuerungsmethoden, Waferträger, Ladestation und Pad-Conditioner wie das vollautomatische mechanische mechanische Poliersystem 6DS-SP. Der 6-EG ist eine erschwingliche 300 mm Lösung.


Dieser halbautomatische Planarizer verfügt über

  • fortschrittliche Prozesstechnologien, die
    in Produktionsqualität und
    Erleichterung des Übergangs von der Entwicklung
    zur Produktion.
  • Zu diesen Technologien gehören die ViPRR-Carrier von Strasbaugh,
    Multi-Zone-Rückdruck, nVision Optischer und Motorstromendpunkt,
    Powered Pad Conditioning und die HydroLift Load Station.
  • ViPRR-Träger reduzieren Kantenausschluss,
    Leitmittel-zu-Rand-Uniformität und
    Verbesserung der Gesamtleistung und Zuverlässigkeit
    in Vision Optischer & Motorstrom
    Endpunkt mit SmartPad-Technologie,
    verbessert die Wafer-to-Wafer-Konsistenz
    durch Anhalten des Prozesses zum genauen Zeitpunkt, der
  • Operationen sind über eine intuitive grafische Touchscreen-Benutzeroberfläche programmierbar
  • Zu den programmierbaren Operationen gehören: Spindel mit variabler Drehzahl, variable Drehzahl
    Tisch-, Gegendruck- und Padkonditionierung Prozessrezepte sind auf die
    vollautomatische nTegrity- und nTrepid-CMP-Systeme für die Großserienfertigung
  • Programmierbare Powered PadConditioner erhöht die Lebensdauer des Pads und
    verbessert die Gleichmäßigkeit, indem 10
    Zonen der variablen Steuerung (Sweep,
    Abtrieb, RPM)
  • Closed-Loop-Tisch und Spindel-RPM
    Motoren sorgen für einen konsistenten Prozess
    Ergebnisse
  • HydroLift Load Station und Spindelspülung
    frontseitigen Kontakt zu eliminieren und
    Kontamination
  • Luftunterstütztes Unterdrucksystem

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The Strasbaugh 6-EG model is an economical tool for chemical mechanical planarization (CMP) research, failure analysis and low volume production.


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