ScrubWRIGHT und ScrubBELTS für die Reinigung schwer zugänglicher Bereiche

Product Type:

Parts & Consumables

Application:

Cleaning Accessories

Product Description:

Ein einzigartiges Werkzeug zur Reinigung von kleinen, schwer zugänglichen Bereichen wie z. B. VAT-Ventilen und elektrostatischen Chucks (ESCs).

Der ScrubWRIGHT Pen und die auswechselbaren Diamond ScrubBELTS® in verschiedenen Körnungen (280 bis 1350) schaffen ein vielseitiges Instrument, das sich perfekt zum Polieren von Flecken, Kratzern und prozessbedingten Rückständen von kratzempfindlichen Oberflächen eignet. Der ScubWRIGHT® hält die ScrubBELTS® mittels Federspannung und ermöglicht so deren eine leichte Montage und Rotation.

• Verbesserte Cost of Ownership. Ermöglicht die Reinigung von Bauteilen innerhalb der Kammer und eliminiert Ausfallzeiten und hohe Kosten, die mit dem Ausbau und dem Versand von Bauteilen zur Reinigung verbunden sind.
• Hilft Partikel zu reduzieren. Entfernt effektiv Ablagerungen von prozesskritischen Bereichen (Randbereiche von ESC-Chucks, Blenden in PVD-Prozessen..), um unerwünschte Abplatzungen zu verhindern.
• Entfernt sicher Ablagerungen aus sensiblen Bereichen. Verwenden Sie den Diamond ScrubBELT® direkt auf einem kleinen Bereich der Ablagerungen und verhindern Sie so übermäßigen Verschleiß in den umliegenden Bereichen.
• Reduziert Schäden an kritischen Teilen. Macht den Einsatz von Scotch-Brite™, Rasierklingen und Keramikmessern überflüssig.
• Große Auswahl an Diamond ScrubBELTS®. Ermöglicht die schnelle Entfernung von Ablagerungen auf Aluminium, Edelstahl, Keramik, Glas, Quarz und eloxierten Oberflächen.