Product Type:
Equipment
Application:
Deposition, Etching
Product Description:
Das Oracle ist das kleinste und flexibelste vollständige Produktionsclustersystem auf dem Markt. Das System besteht aus einem Zentralvakuumtransport (CVT), Vakuumkassettenaufzügen und bis zu vier Prozessreaktoren. Diese Prozessreaktoren werden an das zentrale Lastschloss angedockt und laufen im Produktionsmodus oder können unabhängig betrieben werden. Das Oracle kann auch für die Laborumgebung (mit Einzelwaferbeladung) oder für die Vollproduktion (mit Vakuumkassettenaufzügen) konfiguriert werden.
Da das Oracle bis zu vier separate Prozesskammern beherbergt, gibt es viele mögliche Prozesskombinationen, einschließlich Asche-, Etch- und Abscheidungsmodule. Prozesse werden sicher ohne atmosphärische Kontamination ausgeführt, da alle Kammern vakuumbelastet sind.
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Compound Semiconductor, Photonics, Research & Development, Pilot Line, Production.