Product Type:
Parts & Consumables
Application:
Wipers
Product Description:
MiraSAT ™ 70/30 ist mit 70% IPA in Halbleiterqualität und 30% Reinstwasser (UPW) vorgesättigt und enthält Foamtecs branchenführenden MiraWIPE ™ Mikrofaser mit versiegelten Kanten. Die einzigartige gewebte Mikrofaser benötigt nur 7 ml Lösung, um gleichmäßig angefeuchtet zu werden. Dadurch können durch Schrubben wie beim Reinigen Verunreinigungen entfernt, eingeschlossen und entfernt werden, während der IPA-Verbrauch um mindestens 22% * gesenkt wird. Das superstarke Gewebe und die versiegelte Kante von MiraSAT minimieren das Ablösen von Fasern auch auf strukturierten Oberflächen und sind daher ideal für Reinigungsarbeiten an Geräten geeignet. MiraSAT ™ wird in einem ISO 5-Reinraum hergestellt und verarbeitet. Jede Packung enthält 20 MiraSAT ™ – Tücher und ist doppelt verpackt, um die Protokolle für den Zugang zum Reinraum zu erleichtern.
HT5790S73
Material: Mikrofaser
Größe: 9 „x 9“
Dichtung: Breite versiegelte Kante
Lösung: 70% IPA und 30% Reinstwasser, 144 ml
Verpackungseinheit: 20 Tücher/Packung und 20 Packungen pro Karton
MiraSAT ™ Mikrofaser-Reinraumwischer mit versiegelter Kante, vorgesättigt mit 70% IPA und 30% Reinstwasser. Jede Packung ist doppelt verpackt, um die Protokolle für den Reinraumeintritt zu erleichtern.
Prozessvorteile:
• Schützt VOC-empfindliche Fab-Module wie Lithografie, Messtechnik und CVD vor Lösungsmitteldämpfen.
• Das branchenführende abriebfeste Gewebe reduziert das Risiko von Faser- und Partikelausschlägen, die mit Fab-Wischern verbunden sind.
• Gewebtes Mikrofasergewebe ermöglicht eine verbesserte Aufnahme von Verunreinigungen, was zu schnelleren PMs und einer verbesserten Betriebszeit der Geräte führt.
• Eine gleichmäßige Benetzung des Wischers ermöglicht hervorragende Reinigungsergebnisse beim ersten Durchgang und eine kürzere Reinigungszeit.
• Die hochmodernen Verarbeitungsanlagen von Foamtec produzieren einen Wischer, der für den Einsatz in den modernsten Waferfabriken optimiert ist.
• Beseitigt das Risiko einer Kreuzkontamination durch verschmutzte Spritzflaschen.
• Reduziert die VOCs für empfindliche Fab-Module wie Lithografie, Metrologie und CVD erheblich.
• Unübertroffene Abrieb- und Abriebfestigkeit minimiert Kratzfehler und Partikelausschläge, die mit fabelhaften Scheibenwischern verbunden sind.
• Bei PMs für Geräte verbessert das leicht angefeuchtete, gewebte Mikrofasergewebe nachweislich die Verfügbarkeit der Geräte und die Qualifikationsraten für den ersten Durchgang.
• Die hochmodernen ISO 5-Verarbeitungsanlagen von Foamtec produzieren einen Wischer, der für den Einsatz in den modernsten Waferfabriken optimiert ist.
• Beseitigt Kontaminationsrisiken, die mit verschmutzten IPA-Spritzflaschen verbunden sind.
Vorteile für Umwelt, Gesundheit und Sicherheit:
Die Umweltbedingungen für die Halbleiterindustrie nehmen nur zu:
Durch die Implementierung von MiraSAT ™ können Waferfabriken innerhalb ihrer Luftzulassungsgrenzen bleiben und gleichzeitig die Einhaltung der Umweltvorschriften und die Vermeidung von Kosten schrittweise verbessern.
• Reduzieren Sie die Lagerung brennbarer Chemikalien, Spritzflaschen mit Lösungsmitteln und den Umgang mit IPA im Reinraum.
• Reduzieren Sie flüchtige VOC-Emissionen und Luft, die Auswirkungen des Lösungsmittelwischens haben.
• Reduzieren Sie die Exposition des Personals gegenüber Isopropylalkohol während des Abwischens im Reinraum.
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Foamtec’s HPM Technique
Combined with the UltraSOLV® ScrubPAD and Sponge, MiraSAT’s capabilities to dislodge, entrap and remove stubbornly adhered contamination reduces wiper usage, hazardous waste and equipment recovery time.
• For use in ISO Class 3 and higher cleanrooms.
• Cleaning of hi-vac process chambers and robotics in flat panel display and wafer fabs.
• Cleaning VOC sensitive process equipment in lithography, CVD and metrology modules.
• Cleaning baked-on resist and developer from lithography tracks.
• Final wipedown of sensitive components such as EFEM’s, electrostatic chucks, VAT valves and gas dispersion plates.
• Equipment PM’s and wet cleans where the elimination of VOC’s and flammable solvents are required.