Minilock – Phantom RIE

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By TRION

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Product Type:

Equipment


Application:

Etching


Product Description:

Das Minilock – Phantom RIE ist ein Reactive Ion Etch System mit einem Vakuum Loadlock. Der Loadlock ermöglicht, die Hauptkammer, weiter zu evakurieren, während eine Probe geladen oder entladen wird. Das System eignet sich somit hervorragend für Prozesse, bei denen für toxische Gase verwendet werden.

Das System ist hochgradig konfigurierbar, beispielsweise durch inductively coupled plasma (ICP) und Endpoint Detection.


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Compound Semiconductor, Failure Analysis, Research & Development, Pilot Line.


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