IPEC 372M CMP-System

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By AXUS

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Product Type:

Equipment


Application:

CMP


Product Description:

AXUS-Technologie ist spezialisiert auf die Wiederherstellung von CMP, Wafer Grinding & Wafer Cleaning Equipments sowie die Lieferung von Upgrades und Ersatzteilen.

Der Waferpolierer IPEC 372M ist ein vollautomatisches Präzisionswerkzeug zum CMP-Polieren von Halbleiterwafern, mit dem Flachheit, Gleichmäßigkeit und Planarisierung auf gemusterten/Gerätewafern erreicht werden.

Der 372M verfügt über eine automatische Waferhandhabung und ist in der Lage, zweistufige Polierbearbeitungen zu ermöglichen, um die Durchsatzfähigkeit und -qualität der Wafer zu maximieren. Der 472 wurde für die Planung von Wafern von 100 mm bis 200 mm entwickelt und eignet sich ideal für Materialien polierende Anwendungen, die Wiederholbarkeit mit Betriebs- und Verarbeitungsflexibilität erfordern. Nur Axus Technology ist berechtigt, ViPRR-Träger-Upgrades für überholte IPEC 372M- und 472 CMP-Tools bereitzustellen. Der IPEC 372M unterstützt eine Reihe von Conditioner- und Carrier-Upgrades.


Spezifikationen
  • Automatisierte Steuerung mit Soft-Touch-Tastatur
  • Zwei-Platten-Verfahren für Post-Pol-Buff
  • Mehrfache Gülleabgabe
  • In-situ-Pad-Conditioner
  • Materialverträglichkeit für mittlere und niedrige Ph-Schlämme (1 – 12)
  • Nach unten Kraft bis zu 750lbs.
  • Steuerbarer Wafer-Gegendruck
  • Polnischer Kopf saubere Station
  • Externe Schnittstelle für Endpunktfähigkeit
Optionale Funktionen
  • Multizone ViPRR Carrier Upgrade
  • Temperaturgeregelte Platten
  • SECS II-Schnittstelle

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