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Product Type:
Metrology & Handling
Application:
Scanning Electron Microscope
Product Description:
Der Sputter Coater G20 ist ein vollautomatisches Coating-Tool zur Probenpräparation in der Elektronenmikroskopie.
Die getrocknete Probe wird mit einem feinkörnigen, dünnen Metallfilm überzogen. Als Target kann Gold oder Aluminium verwendet werden.
- einfache Bedienung mittels intuitivem 7″ Touchscreen
- vollautomatischer Betrieb, kein Eingreifen nötig.
- Speicherung der Coating-Parameter in max. 10 Recipes
- es können max. 7 Proben gleichzeitig verarbeitet werden
- der niedrige Strom (1 x 10 mA) verhindert Schäden an Ihren Proben
- kompakte Bauweise, geringer Platzbedarf
- sehr hohe Uniformity der Beschichtung, sichergestellt durch Pirani Gauge
| Vacuum Degree | 2.0 x 10-2torr |
| Ion Current | 1 to 10mA (1mA/step) |
| Target Material | Au or Pt |
| Chamber Size | Φ140mm(D) x 100mm(H) |
| Sample Stage | Φ50mm(D) x 30mm(H) |
| Target Size | Φ50mm(D) x 0.1(T) |
| Sputter Time | 1 to 600sec (1sec/step) |
| Vacuum Pump | 100L/min, Rotary Pump (Recommended) |
| Dimension | 380(W)x 240(L) x 250(H)mm, 10kg |
● Metal thin film coating on the surface of nonconductive and slightly conductive specimens
● Metal thin film deposition such as Au and Pt by sputtering deposition method
● Micro structure Analysis or Failure Analysis(Broken Sections) (Materials and products such as semiconductor parts, ceramics, metals, powder, etc)