Genesis-Serie (Compact Normal SEM)

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By EMCrafts

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Product Type:

Metrology & Handling


Application:

Scanning Electron Microscope


Product Description:

Genesis-Serie (Compact Normal SEM)

  • Mehr Wert in weniger Platz
  • Straightforward & Intuitive Manual Stage
    (Genesis-1000 / 1100)
  • Vielseitigere 5-Achsen Motorisierte Bühne
    (Genesis-2020 / 2120)
  • Beobachtung der nicht-leitenden Probe
    (Genesis-1100 / 2120)
  • 1. Einfache und intuitive Benutzeroberfläche für jedermann
    2. Vollständiges 5-Achsen-Euczentrisches manuelles Bühnensystem
    – X,Y : 40mm
    – Z: 5 x 45 mm
    – T : -20° bis 90°
    – R : 360°
    3. Maximale Stichprobengröße
    – Horizontal : 96mm, Vertikal : 50mm
    4. X 10 x X 300.000 Vergrößerung
    5. Automatische Funktionen zur Minimierung sich wiederholender
    – Autofokus, AutoHelligkeit & Kontrast,
    Auto Gun Alignment, Auto Sättigung
  • 6. Hochauflösende Bildgebung
    – Genesis-1000 : 3nm SE Bild (SE-Detektor)
    – Genesis-1100 : 3nm SE Bild (SE-Detektor) / 4nm (BSE-Bild)
    7. Silent Turbo-Pump-Vakuum-System (Vakuum bereit innerhalb von 3 Minuten)
    8. Nur 1m2 Platz für die Installation erforderlich
    9. Vakuum-Modus
    – Genesis-1000 : High Vacuum only (<9 x 10-3Pa)
    – Genesis-1100 : Variabler Druck(10 x 230Pa)
    10. Detektor
    – Genesis-1000 : SE(ET-Typ)
    – Genesis-1100 : SE(ET-Typ) / BSE(4Channel, Halbleiter)
    11. Unabhängige Produktentwicklung, Quick & Prompt AS
    12. Verschiedene Arten von Proben können mit optionalen Detektoren analysierbar werden
    – 4Channel BSEEDSEBSDWDSCL
    Raman SpectroscopyLaB6 / Cebix Upgrade
    E-beam Lithography3D ImagingChamber Camera


Spezifikation der GENESIS-Serie
Modell Genesis-1000 Genesis-1100 Genesis-2020 Genesis-2120
Plattform 5-Achsen-Handbuch
– X : 40mm (-20mm bei 20mm)
– Y : 40mm (-20mm bei 20mm)
– Z: 5 x 45 mm
– T : -20° bis 90°
– R : 360°
5-Achsen Motorisiert
– X : 90mm (-45mm x 45mm)
– Y : 60mm (-30mm bei 30mm)
– Z : 5 x 60 mm
– T : -20° bis 90°
– R:360°
Variabler Druck X O X O
Vakuum-Modus High Vacuum only (<9×10-3Pa) High Vacuum Mode (<9×10-3Pa)
Low Vacuum Mode (10~230Pa)
High Vacuum only
( < 9 x 10-3Pa)
Hochvakuum-Modus ( < 9 x 10-3Pa)
Niedervakuum-Modus (10 x 230Pa)
Vakuumsystem Vollautomatisches Evakuierungssystem
– Turbo-Molekularpumpe (Vakuum bereit innerhalb von 3 Minuten)
– Drehschieberpumpe
– Elektrisches Ventilsystem
Electron Gun Vorzentriertes Wolfram-Filament
Detektor SE-Detektor (ET-Typ) SE-Detektor (ET-Typ) BSE-Detektor (4Chan-
nel, Halbleiter)
SE-Detektor (ET-Typ) SE-Detektor (ET-Typ) BSE-Detektor (4Chan-
nel, Halbleiter)
Auflösung 3.0nm (SE-Bild) 3.0nm (SE-Bild)
5.0nm (BSE-Bild)
3.0nm (SE-Bild) 3.0nm (SE-Bild)
5.0nm (BSE-Bild)
vergrößern x10 bei x300.000
Beschleunigungsspannung 200V bei 30kV
Ziel IRIS 20 / 20 / 50 / 100 m (Variable Blende)
Image-Shift 100 m
Maximale Stichprobengröße Horizontal : 96mm Vertikal : 50mm Horizontal : 150mm Vertikal : 60mm
Erweiterter Scanmodus Dynamischer Fokuspunkt& Linienscan, Neigungskompensation
Arbeitsstrecke 0 x 45 mm 0 x 60 mm
Automatische Funktion Auto Brightness & ContrastAuto FocusAuto Gun AlignmentAuto Saturation
Auto FilamentBias
Bildformat JPGTIFFBMPPNG
Anzeigemodus Fokusmodus: 320 x 240 Pixel, verwertbar
Vorschau-Modus : 800 x 600
Langsamer Modus : Gilt sowohl für den Vorschau- als auch für den Fokusmodus
Fotomodus : Bis zu 3200 x 2400
Dimension(mm) Installationsabmessung : 1800 (B) x 600 (D)
– Hauptsystem : 600 (B) x 623 (T) x 1350 (H), 130Kg
– Drehpumpe : 454 (B) x 134 (T) x121 (H), 22Kg
Geliefertes Zubehör Werkszentrierte Filamentkartusche 1box(10Units) Specimen Mounts 1box(10units), Pinzette
Carbon Tape Hex. Treiber 0.89mm (1 ea.) Hex. T Schraubenschlüssel 2,5 mm (2 ea.)
Bedienungsgerät(PC) Windows10-basierte All-in-One 21.5″ Workstation 100 gesteuert über Tastatur und Maus
Optionale Geräte EBSD(Electron Back Scattered Diffraction) EDS(Energy Dispersive Spectroscopy) WDS(Wavelength Dispersive Spectroscopy) CL(Cathodoluminescent) Image
Chamber CameraLaB6 / CeB6 Upgrade 3D Imaging Raman Spectroscopy
E-Beam Lithographie
Stromversorgung Einzelphase : 100 x 240VAC, 50 / 60Hz, 1kVA

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SEM is widely used across various fields to produce unprecedented images of the microscopic and nanometric world.
Our family of SEM models are widely-used in research fields and industry applications such as semiconductor,
flat-panel display, and nanotechnology labs .

  • Quality control of electronics circuits and semiconductor parts
  • Observation of microstructure of Secondary cell, CNT (Carbon Nano Tube), Solar Cell, Wafer, Bonding Wire, LED,
    Nano tech


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