Product Type:
Equipment
Application:
Etching
Product Description:
Die Gemini ist ein kompaktes Mehrkammer-Abisoliersystem mit hohem Durchsatz, das speziell für die Anforderungen heutiger Produktionsfabs entwickelt wurde. Dieses vielseitige und erschwingliche System kann mit einem 200mm oder 300mm Spannfutter konfiguriert werden. Je nach Anwendung kann dieses System eine Mikrowellenquelle (die sowohl zuverlässig als auch frei von typischen Mikrowellen-Tuning-Problemen ist) oder ICP-Technologie enthalten.
Durch Verwendung von ICP können bei niedrigen Temperaturen schwer zu entfernende Mikrowellen- und HF-Vorspannungsleistungen von Resistschichten entfernt werden.
- Ätzraten bis zu 6um/min
- Hoher Durchsatz
- Geringe Plasmaschäden
- Automatische Stuning
- 100mm bis 300mm Wafer
- Kleiner Fußabdruck
- Wettbewerbsfähige Preise
file_downloadGemini-Multi-Chamber-Stripper-Brochure12.pdf
MEMS, Compound Semiconductor, Advanced Packaging.