By ESI
Supplier InfoProduct Type:
Equipment
Application:
Etching
Product Description:
Überholung und Aufrüstung ihrer Gasonics L3510
Seit 1986 bietet ESI Wiederaufbereitungen und Aufrüstungen von Gasonics L3510 Plasmaäscher-Tools und Parts an.
Kontaktieren Sie uns, wenn sie weitere Informationen darüber benötigen, wie Sie Ihrem L3510 neues Leben einhauchen können.
Prozess- und Steuerungsverbesserungen
- Software Version 7.50
- New Pentium® SBC CPU Card
- LCD-Display und neue Tastatur
- Einzelkassettenverarbeitung
- Echte Downstream-Mikrowellenplasma-Prozess
- Automatische Endpunkterkennung
- Kalibriertes Mikrowellensystem
- Kalibriertes Drucksystem
- Kalibriertes Temperaturregelsystem
Hochentwickeltes Prozesskontrollsystem
- Rüsten Sie Ihr Gasonics L3510 an einem Tag auf unsere fortschrittliche ESI e3511 auf
- Plug and Play, wird direkt in den L3510-Kabelbaum eingesteckt
- IDX Flexware Software
- Embedded PC und I/O-System
- 17” Touchscreen
Elektrische Verbesserungen
- Neuer Kabelbaum
- Neues beheiztes Platen, Überhitzungsschutz für Platen als Upgrade erhältlich
- Wafer Cooling Station mit Touch-Wafer-Sensor, funktioniert mit Glas, GaAs etc.
- Lampenbaugruppe mit neuem Reflektor und Glühlampe mit Solid-State-Controller
- Neue UV-Zündlampe und Netzteil
- Fortschritliche Gleich- und Wechselstromversorgungen mit SSRs
- Neuer Gerling GL139 1,2 kW Mikrowellengenerator, Mititoyo 3 Stub Tuner, Wellenleiter und 6-poliger MW-Applikator
- Fortschritliche Versionen von I/O PCB‘s und Druck- / EOP-PCB‘s
- MKS ISO-Valve, neuer ATM-Sensor und neuer MKS-Baratron
Mechanische Verbesserungen
- Systemhardware kompatibel für 75-200 mm Wafer
- Fortschrittlicher Hine Hatm-5 Pick & Place Roboter
- Der Pneumatik-Einstellblock für Tür und Lifter bringt alle Geschwindigkeitsanpassungen an einen Ort, an dem sie leicht zu erreichen sind.
- Das Netzteil des UV-Zünders befindet sich für einen einfachen Zugang oben auf der Gasbox
- KalRez® Hochtemperatur-O-Ringe für bessere Beständigkeit gegen Plasma und UV
Gas-Installation und Pneumatik
- Neue MKS Drosselklappe
- Drei Gaseingänge mit kundenspezifischen MFCs (normalerweise 4l O2, 2l N2 und 500ccm O2)
- Neue Gasbox, Magnetventile, Druckluftzylinder, Schläuche
file_downloadL3510-Remanufacturing-Specifications.pdf
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