Gasonics L3510 Refurbishment und Upgrades

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By ESI

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Product Type:

Equipment


Application:

Etching


Product Description:

Überholung und Aufrüstung ihrer Gasonics L3510

Seit 1986 bietet ESI Wiederaufbereitungen und Aufrüstungen von Gasonics L3510 Plasmaäscher-Tools und Parts an.

Kontaktieren Sie uns, wenn sie weitere Informationen darüber benötigen, wie Sie Ihrem L3510 neues Leben einhauchen können.


Prozess- und Steuerungsverbesserungen

  • Software Version 7.50
  • New Pentium® SBC CPU Card
  • LCD-Display und neue Tastatur
  • Einzelkassettenverarbeitung
  • Echte Downstream-Mikrowellenplasma-Prozess
  • Automatische Endpunkterkennung
  • Kalibriertes Mikrowellensystem
  • Kalibriertes Drucksystem
  • Kalibriertes Temperaturregelsystem

Hochentwickeltes Prozesskontrollsystem

  • Rüsten Sie Ihr Gasonics L3510 an einem Tag auf unsere fortschrittliche ESI e3511 auf
  • Plug and Play, wird direkt in den L3510-Kabelbaum eingesteckt
  • IDX Flexware Software
  • Embedded PC und I/O-System
  • 17” Touchscreen

Elektrische Verbesserungen

  • Neuer Kabelbaum
  • Neues beheiztes Platen, Überhitzungsschutz für Platen als Upgrade erhältlich
  • Wafer Cooling Station mit Touch-Wafer-Sensor, funktioniert mit Glas, GaAs etc.
  • Lampenbaugruppe mit neuem Reflektor und Glühlampe mit Solid-State-Controller
  • Neue UV-Zündlampe und Netzteil
  • Fortschritliche Gleich- und Wechselstromversorgungen mit SSRs
  • Neuer Gerling GL139 1,2 kW Mikrowellengenerator, Mititoyo 3 Stub Tuner, Wellenleiter und 6-poliger MW-Applikator
  • Fortschritliche Versionen von I/O PCB‘s und Druck- / EOP-PCB‘s
  • MKS ISO-Valve, neuer ATM-Sensor und neuer MKS-Baratron

Mechanische Verbesserungen

  • Systemhardware kompatibel für 75-200 mm Wafer
  • Fortschrittlicher Hine Hatm-5 Pick & Place Roboter
  • Der Pneumatik-Einstellblock für Tür und Lifter bringt alle Geschwindigkeitsanpassungen an einen Ort, an dem sie leicht zu erreichen sind.
  • Das Netzteil des UV-Zünders befindet sich für einen einfachen Zugang oben auf der Gasbox
  • KalRez® Hochtemperatur-O-Ringe für bessere Beständigkeit gegen Plasma und UV

Gas-Installation und Pneumatik

  • Neue MKS Drosselklappe
  • Drei Gaseingänge mit kundenspezifischen MFCs (normalerweise 4l O2, 2l N2 und 500ccm O2)
  • Neue Gasbox, Magnetventile, Druckluftzylinder, Schläuche

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