Advancer Immersion Wet Bench

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By MEI / RENA

Supplier Info

Product Type:

Equipment


Application:

Wet Process


Product Description:

  • Die Advancer-Plattform von MEI für Nassbänke bietet flexible Konfigurationen, die effektive Lösungen für viele Nassverarbeitungslösungen bieten.
  • Der Advancer ist als Full-Auto oder Semi-Auto, Stand-alone oder modular erhältlich.
  • Die Advancer Nassbank bietet viele Funktionen, um die anforderungen an chemische Prozesse zu optimieren, wie z. B. chemische Massenanrufe und Status, chemisches Spiken und „In-Tank“-Mischung von Chemikalien, die von IDX Flexware überwacht werden.
  • Mit einer extrem geringen Stellfläche bietet die MEI Advancer Wet Bench Nassverarbeitungslösungen für Fabs mit begrenztem Produktionsraum.
  • Die Advancer Wet Bank ist eine praxiserprobte Plattform, die Zuverlässigkeit, Konfigurierbarkeit, erhöhte Betriebszeit und Ausbeute bietet.
  • Alle sind die Markenzeichen eines MEI-Nassverarbeitungssystems.
  • Lösungen, die auf Engagement basieren

Verfügbar als:

  • Advancer Classic
  • Advancer Gemini: ein duales Prozess, Dual-Roboter-Nassverarbeitungssystem
  • Advancer HF
  • Advancer Micro (schmal)


Eigenschaften:

  • Einzel- oder Zweikassettenfunktion
  • Alle standard-Halbleiterprozesse verfügbar
  • 6- und 8-Zoll-Verarbeitung ohne Änderungen
  • Modulares Design für eine einfache zukünftige Erweiterung.
  • Leicht zugänglicher Sanitär-, Pneumatik- und Elektrokomponenten
  • Einzelprozess- und Spüldesign
  • Side Mount Roboter, leicht gleitet für den Service
  • Optionale chemische Spiking-Fähigkeit
  • Flexware Prozesssteuerungssoftware
  • Verfügbar in allen gängigen Prozesskonfigurationen
  • Einfach erweiterbar mit hoher Zuverlässigkeit

Optionen:

  • Viele Tank- und Prozessbadoptionen, einschließlich Megasonics und Ultraschall
  • Heizung, Kühler, Trockner Optionen
  • Spiking, Reclaim, deckel, überlaufen Wehr, Rezirkulation
  • Filter-, Füllmethode, Rührung, Spül- und Abflussoptionen.
  • Wafer Carrier und Queue-Pass-on-Kassettenoptionen
  • HEPA- oder ULPA-Filter
  • SECS/GEM-Schnittstellenoptionen
  • Chemische Bulk-Versorgung
  • Integriertes chemisches Spike
  • Automatische oder manuelle Türen
  • Materialauswahl FM4910 (Halar, CPVC, PVDF) oder
  • Polypropylen oder Edelstahl
  • SEMI S2-0703 Evaluierungsaudits von Drittanbietern und FM-zertifizierte Systeme
  • UL gelistet 508A Elektrische Hauptplatte

file_downloadAdvancer-2015.pdf
file_downloadIDX-2015.pdf

Semiconductor, GaAs, solar cell, IC, Medical and MEMS. The system is suitable for a wide variety of etch, strip and clean applications for semiconductor processing. Applications include wet processing for IC devices, medical device, MEMS, LED and III-V Compounds.


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